질량 분석 범위: 1.6~1.050µ

질량분석 스캔 속도: 최대 20,000 amu/sec

EI IDL: 20fg 이하

Ion source temperature: 150~350℃

검출기: 3중축 구조의 HED-EM으로 구성 

오븐 냉각 속도: 450℃ 에서 50℃까지 4분

운용 온도 범위: 상온 +4℃~450℃

샘플 가스 라인(보조장치): 

- Vertical tube Furnance(1200℃ / 1400W)

​- MFC(Accuracy ±1% F.S) / 부식성 사용 가능